713 搞出光刻机挺直腰杆子（4k）

“狼烟起，江山北望……”酒店里，喝到烂醉如泥的高媛媛被手机铃声吵醒，迷迷糊糊地抬头找了找，声音来自床头柜上的手机，但手机的主人，不见踪影。“阿飞。”高媛媛强撑着下床，走路绵软无力。“我在这儿。”陆飞打开浴室的大门，坦荡地冲她笑了下，接过手机，“喂、欣姐。”高媛媛洗了把脸，然后脱掉衣服，走进淋浴间冲洗自己，流水声哗哗作响。“好，好，10点我就出发。”陆飞坐在浴缸里，悠悠道：“欣姐，TVB这边，就麻烦你陪媛媛处理了。”高媛媛听到这话，精神大振，竖起耳朵。“……欧洲那边，不用担心，我已经让布洛森24小时盯着，任何风吹草动都要汇报。”陆飞抹了一把脸。希腊的国债评级又被惠誉和标准普尔下调，降到了垃圾级，已经到了必须欧盟兜底的地步，终于把债务危机扩散到整个欧元区。收割欧洲的时刻，马上就要到了！等两人聊完挂断电话，高媛媛才走出玻璃隔断，幽幽说：“阿飞，我今天就不送你去机场了，唔，有点不舒服。”“谁让你昨天喝了那么多酒。”陆飞抓着她的手，拉入浴缸里。心疼之余，不得不感慨高媛媛醉得真是时候，而且还不省人事，要不然也不能给自己创造机会，夜里能跟曾丽单独庆祝封后之喜。大满贯最好的奖励，自然也是大满灌。”下次不会了。”高媛媛意味深长地白了眼，“曾丽姐她们有没有跟你说今天坐你的飞机去鹏城。”“说了……吗，我怎么不知道。”陆飞一个激灵。“那我现在跟你说，你不会介意吧？”高媛媛得留下来，跟徐欣完成TVB最后的收购签约仪式，杨蜜、景恬则继续自己的好莱坞征程，而曾丽、刘师师她们回内地。“怎么会。”陆飞笑道：“不过我听说师师拍完《步步惊心》之后，状态不对，有没有这回事？”“蜜蜜、恬恬她们跟你说的吧。”高媛媛点了下头，“师师可能陷进角色里还没有出来，对吴奇龙的感情有点复杂。”“这可不符合我们‘四小花旦’的造星计划。”陆飞一本正经地说。“放心吧，虹姐已经警告过吴奇龙团队。”高媛媛靠在他的怀里，“早餐叫了吗？没有的话，吃了再走吧。”“当然吃了再走，不过呢，先吃你！”陆飞嘿然一笑，“把昨天的夜宵补上。”“呜呜呜～”跟曾丽她们暂时分别，陆飞坐上车，马不停蹄地赶到逻辑，孙红军早就在门口等候。“他们人呢？”“陆总，都在中心呢。”一行人驱车来到僻静的三体实验基地，沿途布满了安保人员，路的尽头是一间占地上万亩的新建厂房，表面看上去，非常不起眼。一下车，来到换装间，陆飞就看到已经穿着防尘服的梁孟松、尹志尧，以及职工。苏姿丰、胡煜华、孟婉舟这些逻辑的上将，即便半步踏入轮值董事会，也没有资格第一时间参观，消息还封锁在最高统帅部一级。“陆总。”梁孟松、尹志尧等人喊了一声。“走吧。”陆飞换好装备，穿过走廊，墙壁上挂着华夏第一枚原子弹跟氢弹的当天报纸和照片。头顶，悬挂着一条条横幅，都是激励士气的口号语，其中最显眼的莫过于——“搞出光刻机，挺直腰杆子！”“陆总，这就是我们自主研发的65nArF干式光刻机，由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克，下一步就是预生产，在生产中不断改进完善，然后逐步实现量产化。”孙红军兴奋至极，“预计一到两年，就能全部替代掉ASML和尼康的65n光刻机。”“还是自己的机器香啊！”陆飞透过玻璃，看着工作人员有条不紊地操作，余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲，“这么难得的好日子，你们怎么看上去不是很高兴啊，难道是光刻机还有什么质量上的问题，或者技术上的缺陷？”“陆总，设备没有问题，技术也没有问题，就是……就是有一个坏消息……”尹志尧一脸为难。“什么坏消息？”陆飞鼓励道：“没关系，说出来，不说出来，我们又怎么想办法解决呢？”“陆总，ASML研发出了全球第一台EUV光刻机，已经送到三星的研究机构预生产。”尹志尧无奈地叹了口气。“你看你，又急。”陆飞挑了挑眉，倍感意外，这么凑巧！EUV光刻机的出现，相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代，遥遥领先于他们。第一代光刻机是以436n的g-le汞灯光源为主，只适用于5μ以上制程。之后出现了365n的i-le汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了350到500n。这两代都只能算是接近式光刻机，到了第三代扫描投影式光刻机，才实现了跨越式的突破，把最小工艺推进至150到250n。他们生产的65nArF干式光刻机，算是第四代，也就是步进式投影式光刻机，制程工艺最高可以推进到65n，想要更上一层——就得用到浸入技术，也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中，在此基础上，就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。本来，逻辑跟ASML这些国际一线的光刻机厂商，就只剩ArFi这么个半代差距。但EUV光刻机一出现，又把这个差距拉到了至少5代，而且这个技术差距，不像制程工艺那么好追，是整个产业链的全面落后。“不是我急，陆总，一旦EUV预生产成功的话，英特尔、三星、台积电也许不出三五年，就能得到EUV光刻机的生产线……”尹志尧话里无不透着焦虑。“尹教授，这台EUV，ASML、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来？”陆飞透过面罩的玻璃，直直看去。“从林本坚提出浸润式微影技术的理论，到现在，大概十三、十四年。”梁孟松站出来回答。“对嘛，这不就结了。”陆飞拍了拍尹志尧的肩膀，“EUV集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才，也要花13年的时间，何况是我们呢！”“陆总说的没毛病！”孙红军机敏地当捧哏。“咱们研究起步晚，技术经验积累少，人才还不够不精，再加上特么的技术封锁，能在这么短的时间，攻克65nArF干式光刻机，就已经很不正常了，再快就该拍科幻片了。”陆飞笑道：“落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。”“可不是嘛，快赶上小霓虹了！”孙红军嘿然一笑。就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！“所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，ArFi会有的，EUV也会有的！”陆飞环顾四周，激励士气。“陆总！”尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。而且满世界找帮手，比如徕卡。“老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？”陆飞侧目望向孙红军。“已经拟出个初步方案，就等您来定。”孙红军应了一声。“嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！”陆飞双手叉腰，“65n有了，还怕没有ArFi？没有EUV？接下来我们就向32n、28n，甚至28n以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！”六六闪读 663d.com